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2025-08-11
潔凈度,即潔凈環境內單位體積空氣中含大于或等于某一粒徑懸浮粒子的允許統計數,是衡量潔凈室(區)環境質量的重要指標。潔凈室作為對空氣中微粒、微生物等污染物有嚴格控制要求的特殊空間,潔凈室潔凈度檢測是確保生產、科研等活動順利進行的關鍵環節。
潔凈室潔凈度檢測方法流程
潔凈室潔凈度的檢測主要依據GB/T25915.1-2010《潔凈室及相關受控環境第1部分:空氣潔凈度等級》,核心是對空氣中懸浮粒子濃度的測定,具體流程如下:
(1)、檢測前準備
環境條件確認:檢測前需確保潔凈室已正常運行至少30分鐘,溫度控制在20-26℃,相對濕度40%-60%(特殊要求除外),室內壓差、風速等參數符合設計標準。
儀器校準:使用經過計量認證的激光粒子計數器,檢測前需校準流量(誤差≤±5%)、粒徑(誤差≤±10%),并檢查儀器密封性,避免外界干擾。
采樣點布置:根據潔凈室面積和等級確定采樣點數量,面積≤10㎡時至少設1個點,10-30㎡設2個點,30㎡以上每增加20㎡增設1個點(不足20㎡按20㎡計)。采樣點應均勻分布在工作區高度(距地面0.8-1.5m),避開送風口、回風口及障礙物。
(2)、懸浮粒子采樣
采樣流量與時間:根據粒子計數器量程選擇合適流量(常用2.83L/min或50L/min),每個采樣點的采樣量需滿足:對于Class5級及更高等級,最小采樣量為1m3;低等級潔凈室可適當減少,但需保證每個點的采樣時間不少于1分鐘。
采樣操作:將粒子計數器采樣口正對氣流方向(垂直單向流區向上,水平單向流區朝氣流來向),啟動儀器后連續采樣,每個點至少記錄3次數據,每次采樣間隔需清潔采樣口周圍,避免粒子累積影響結果。
(3)、數據處理與結果判定
數據計算:對每個采樣點的多次測量值取平均值,再計算所有采樣點的平均濃度。若某粒徑粒子的單個采樣點濃度超過等級限值,需重新檢測該點;若再次超標,則判定該潔凈室不符合對應等級。
等級判定:將計算出的懸浮粒子濃度(粒徑≥0.5μm和≥5μm)與GB/T25915.1-2010中對應的潔凈度等級限值對比,若所有粒徑的濃度均不超過限值,且采樣點數量和采樣量符合要求,則判定潔凈度達標。